技术原理Q:氟化物材料在紫外波段有哪些独特优势？氟化物光学材料（如CaF2氟化钙、MgF2氟化镁、BaF2氟化钡、LiF氟化锂）是深紫外（DUV，<200nm）和极紫外（EUV，<100nm）波段不可替代的基底和膜层材料，其独特优势包括：（1）极低紫外截止波长——LiF可透射至105nm，CaF2至122nm，MgF2至130nm，远优于熔融石英（~170nm）和硼硅酸盐玻璃（~300nm）；（2）宽光谱低吸收——氟化物声子能量高（本征吸收边位于深紫外），在透射波段吸收系数极低（CaF2在190-200nm吸收<0.01/cm）；（3）低折射率——CaF2折射率n≈1.45，MgF2 n≈1.38，与膜层材料的折射率匹配更灵活，有利于宽带增透膜设计；（4）低色散——阿贝数v_d（CaF2）≈95，远高于玻璃（通常<60），是消色差透镜组设计的理想材料。氟化物滤光片和窗口广泛应用于193nm光刻机、准分子激光器、深紫外光谱仪和天文卫星紫外探测器。关键词：氟化物材料CaF2紫外深紫外滤光片返回列表发布于 2026/5/20
氟化物光学材料（如CaF2氟化钙、MgF2氟化镁、BaF2氟化钡、LiF氟化锂）是深紫外（DUV，<200nm）和极紫外（EUV，<100nm）波段不可替代的基底和膜层材料，其独特优势包括：（1）极低紫外截止波长——LiF可透射至105nm，CaF2至122nm，MgF2至130nm，远优于熔融石英（~170nm）和硼硅酸盐玻璃（~300nm）；（2）宽光谱低吸收——氟化物声子能量高（本征吸收边位于深紫外），在透射波段吸收系数极低（CaF2在190-200nm吸收<0.01/cm）；（3）低折射率——CaF2折射率n≈1.45，MgF2 n≈1.38，与膜层材料的折射率匹配更灵活，有利于宽带增透膜设计；（4）低色散——阿贝数v_d（CaF2）≈95，远高于玻璃（通常<60），是消色差透镜组设计的理想材料。氟化物滤光片和窗口广泛应用于193nm光刻机、准分子激光器、深紫外光谱仪和天文卫星紫外探测器。
