技术原理Q:什么是平行度?滤光片的平行度有什么影响?平行度是表征滤光片两个光学工作面相 互平行程度的技术指标,通常以弧秒(arcsec)或透射波前误差(TWE)表示。平行度不佳时,透射光束会产生波前畸变,导致聚焦光斑扩散、成像边缘模糊或产生双像现象。这种效应在窄带滤光片和高倍成像系统中尤为明显。根据应用精度要求,滤光片平行度通常分为:普通级(1-3弧分)适用于普通成像;精密级(10-30弧秒)适用于半导体检测和高倍显微镜;超精密级(1-5弧秒)适用于激光系统和干涉仪。上海兆九光电可提供从精密级到超精密级的多种平行度规格。关键词:平行度波前畸变面形精度返回列表发布于 2026/5/18
平行度是表征滤光片两个光学工作面相 互平行程度的技术指标,通常以弧秒(arcsec)或透射波前误差(TWE)表示。平行度不佳时,透射光束会产生波前畸变,导致聚焦光斑扩散、成像边缘模糊或产生双像现象。这种效应在窄带滤光片和高倍成像系统中尤为明显。根据应用精度要求,滤光片平行度通常分为:普通级(1-3弧分)适用于普通成像;精密级(10-30弧秒)适用于半导体检测和高倍显微镜;超精密级(1-5弧秒)适用于激光系统和干涉仪。上海兆九光电可提供从精密级到超精密级的多种平行度规格。